形成了辐射潜在损伤.ppt
上传人:天马****23 上传时间:2024-09-11 格式:PPT 页数:18 大小:6.6MB 金币:10 举报 版权申诉
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汇报提纲研究背景与意义实验简介实验结果机理分析总结随着科学技术的发展,微电子器件在航空航天、军事、能源领域广泛应用芯片工艺发展趋势→高集成度、高可靠性一、研究背景及意义(1)原因一:随着特征尺寸的缩小,内部电场增强样品描述:0.13umPDSOIMIS电容,面积为45*100um2,四种不同的样品分别代表电路设计中四种不同的分立器件。TDDB试验栅电流与应力时间示意图若Imeasure>10Xiuse,认为器件已经击穿。简化的损伤模型