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第五章电容式传感器5.1工作原理与结构5.2特性当很小时,高次相可以忽略不计,输入与输出的关系近似为线性,由此带来的误差为了改善传感器的特性,常采用差动结构,这样可以提高灵敏度一倍。更重要的是可将级数中的二次相抵消而使线性度提高。可见,要提高灵敏度,就应减小起始间隙,但这受电容器击穿电压的限制,而且增加装配加工的困难。传感器输出信号强,有利于信号传输。5.1工作原理与结构二.二极管不平衡环形电桥当很小时,高次相可以忽略不计,输入与输出的关系近似为线性,由此带来的误差传感器输出信号强,有利于信号传输。另外,减小起始间隙会限制传感器的测量范围,否则将产生较大的非线性误差。若传感器为变间隙式电容器另外,减小起始间隙会限制传感器的测量范围,否则将产生较大的非线性误差。结构简单,没有活动触点,工作可靠,寿命长。由于、和A都不变,电容与极板间的距离成反比。可见,要提高灵敏度,就应减小起始间隙,但这受电容器击穿电压的限制,而且增加装配加工的困难。由于、和A都不变,电容与极板间的距离成反比。可见,要提高灵敏度,就应减小起始间隙,但这受电容器击穿电压的限制,而且增加装配加工的困难。5.1工作原理与结构另外,减小起始间隙会限制传感器的测量范围,否则将产生较大的非线性误差。但如果传感器为变间隙式电容传感器能测非常小的位移,但随着测量范围增大分辨率下降。传感器输出信号强,有利于信号传输。可见,要提高灵敏度,就应减小起始间隙,但这受电容器击穿电压的限制,而且增加装配加工的困难。能测非常小的位移,但随着测量范围增大分辨率下降。重复性好,线性度好。可见,要提高灵敏度,就应减小起始间隙,但这受电容器击穿电压的限制,而且增加装配加工的困难。由于、和A都不变,电容与极板间的距离成反比。另外,减小起始间隙会限制传感器的测量范围,否则将产生较大的非线性误差。为了改善传感器的特性,常采用差动结构,这样可以提高灵敏度一倍。能测非常小的位移,但随着测量范围增大分辨率下降。由于、和A都不变,电容与极板间的距离成反比。输入和输出呈线性关系可见,要提高灵敏度,就应减小起始间隙,但这受电容器击穿电压的限制,而且增加装配加工的困难。2.3.差动电容时(半桥)2.变压器式交流电桥3.双T电桥可见,要提高灵敏度,就应减小起始间隙,但这受电容器击穿电压的限制,而且增加装配加工的困难。由于、和A都不变,电容与极板间的距离成反比。输出电压与电容C成反比可见,要提高灵敏度,就应减小起始间隙,但这受电容器击穿电压的限制,而且增加装配加工的困难。重复性好,线性度好。由于、和A都不变,电容与极板间的距离成反比。能测非常小的位移,但随着测量范围增大分辨率下降。可见,要提高灵敏度,就应减小起始间隙,但这受电容器击穿电压的限制,而且增加装配加工的困难。另外,减小起始间隙会限制传感器的测量范围,否则将产生较大的非线性误差。能测非常小的位移,但随着测量范围增大分辨率下降。另外,减小起始间隙会限制传感器的测量范围,否则将产生较大的非线性误差。为了改善传感器的特性,常采用差动结构,这样可以提高灵敏度一倍。重复性好,线性度好。可见,要提高灵敏度,就应减小起始间隙,但这受电容器击穿电压的限制,而且增加装配加工的困难。5.1工作原理与结构另外,减小起始间隙会限制传感器的测量范围,否则将产生较大的非线性误差。三.差动脉宽调制电路四.运算放大器式电路五.调频式电路5.4两个要注意的问题