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浮封环平面度检测平面度误差平晶干涉法平晶检测浮封环干涉原理—-等厚干涉使用光源准备与检测平面度的测定值平面度的判读(图形见后4页所示)常见干涉光谱带—-一条光带常见干涉光谱带—-两条光带常见干涉光谱带—-三条光带常见干涉光谱带—-多条光带检测装置结构示意干涉条纹与间隙的关系干涉条纹识别浮封环光亮带合格判定标准待制定谢谢关系本资料制定标准很重要感谢亲观看此幻灯片,此课件部分内容来源于网络,如有侵权请及时联系我们删除,谢谢配合!