原子层沉积法的原理和应用.ppt
上传人:天马****23 上传时间:2024-09-14 格式:PPT 页数:16 大小:6MB 金币:10 举报 版权申诉
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2.Classicalmodels:ALDofAl2O33.ComparisonofALDandCVD3.ComparisonofALDandCVD14.2Coatingsonnanoparticles4.2Coatingsonnanoparticles4.3CombinationofCNTandsuper-blackcoatingsSchematicillustrationoftheALDandCVDprocessforthesynthesisofCNTarraysStevenM.George,ChemicalReviews,110,111-131(2010)ThefutureprospectsforALDareverypromising.VariousmaterialscanbedepositedusingALDtechniques.