NEW新创工程ICFAB/厂务供应系统NEW新创工程NEW新创工程NEW新创工程NEW新创工程化学品供应站外接动力需求2气体分配用阀门箱、阀门盘；通常较理想的设计流速为一般气体小于20m/sec，可燃性气体小于10m/sec，腐蚀性/毒性气体则小于8m/sec。运行策略的优化，在厂务优秀管理人才一将难求的情况下，又是如此举步维艰，是否还有其它途径大宗供气系统的可靠性问题工艺冷却水一次配阀门尽量按一台套设备留一组阀的原则H2供给炉管设备燃烧造成混氧环境，POLY制程中做H2BAKE之用。设在屋顶的冷却塔宜设风机检修控制开关,考虑检修安全因素AcidScrubberW-PLUG制程中作为WF6之还原反应气体及其他制程所需。SiH4、PH3、B2H6等对于主辅机的一次阀门预留建议参照冷却水，可视具体情况蒸汽末端应有吹扫管路直通室外，主要考虑调试运行及维护后送气纯化器选择时对N2、O2纯化器较多采用触媒吸附式，Ar、H2纯化器则以Getter效果二次配转子流量计的设置，合理调节需求量，避免系统小温差大流量通常较理想的设计流速为一般气体小于20m/sec，可燃性气体小于10m/sec，腐蚀性/毒性气体则小于8m/sec。最佳，必须高度注意气体对CH4，N2的要求（吸附式无法去除）钯膜纯化器一次配管支干管宜采用带后吹扫口的波纹管/隔膜阀，考虑施工及后期改造支干管开头需NEW新创工程NEW新创工程NEW新创工程NEW新创工程NEW新创工程NEW新创工程NEW新创工程NEW新创工程NEW新创工程NEW新创工程NEW新创工程NEW新创工程因扩充性不易，需预留适当的扩充阀组。送回水管路材质选择的合理性另一种未经特殊处理的AP管(Annealing&Picking)，则用于不做为供气管路的双套外管。2）氧气若采用现场制气方式，虽然可以不经纯化而直接供工艺设备使用，但仍应该设置一台纯化器作备用。有些气体，一与空气相混，即使没有火源也会自燃起火。工艺真空管路可以采用UPVC给水管特种气体工艺系统应设置下列主要装置：储气罐容积一般考虑空压机每分钟排气量的10%运行策略的优化，在厂务优秀管理人才一将难求的情况下，又是如此举步维艰，是否还有其它途径储气罐底部疏水管路需要有旁通送回水管路材质选择的合理性工艺真空管路可以采用UPVC给水管冷冻机配管操作阀门的布置，应考虑机组关闭后切断旁通流量，减少水泵运行台数管路的材质则依使用的需求进行选择，若为制程用的反应气体则选择高等级的316LEP管，经电解抛光(Electro-Polish)处理，耐腐蚀，表面粗糙度低，Rmax约为0.储气罐容积一般考虑空压机每分钟排气量的10%管路型式依气体特性设计，惰性气体使用一般的单层管，腐蚀性、可燃性、毒性则可考虑双套管，但因其制作成本高，除非具自燃爆炸或极毒性的危险气体，如SiH4、PH3、AsH3常以双套管制作外，其余危险气体可再行考虑。NEW新创工程NEW新创工程NEW新创工程NEW新创工程NEW新创工程NEW新创工程NEW新创工程NEW新创工程NEW新创工程谢谢观看