光学薄膜透反射率的常用测量方法光学薄膜透、反射率的常用测量方法薄膜透射率和反射率的测量单色仪型分光光度计原理原理双光路测试干涉型光谱分析系统光谱仪测试一般步骤偏振测量光源为部分偏振光时，薄膜偏振特性的测量图（b）放置：进一步求得各自的值光谱分析仪器比较光谱分析测试系统-反射率的测量光谱分析测试系统-反射率的困难光谱分析测试系统-单次反射法测量反射率空气中某些成分的吸收带影响：二氧化碳吸收，方法是样品室充氮；具体测量中的一些问题单色仪：由色散原件、狭缝机构以及色散原件的扫描驱动；入射光位置偏移带来测量的问题测自然光的倾斜入射透过率，由于入射光偏振态的问题带来测量问题薄膜透射率和反射率的测量不容易找到在很宽波段范围内具有100％反射率性能长期稳定的参考样品；测试样品后表面的影响，测试透过率时不可避免会引入后表面的影响，需要通过计算消除此种影响。1％，出射激光的强度改变10％，因此可以通过出射激光强度的变化来测定反射镜的反射率；不容易找到在很宽波段范围内具有100％反射率性能长期稳定的参考样品；透射率和反射率是光学薄膜器件的最基本的光学特性，因此薄膜反射率和透射率测试是光学薄膜的基本测试技术；薄膜透射率与反射率主要是采用光谱测试分析仪进行测试；反射率的测量不如透射率测量普及；单色仪：由色散原件、狭缝机构以及色散原件的扫描驱动；光谱分析测试系统-多次反射法测量反射率晶体偏光棱镜：产生偏振光；860nm时，扫描光线会出现突跳现象，这是由于光斑位置的变化和偏振效应造成的。光谱分析测试系统-多次反射法测量反射率样品的反射率为：利用激光谐振腔测试激光高反射镜的反射率如果测自然光的倾斜入射透过率，由于入射光偏振态的问题带来测量问题这种现象一般都出现在倾斜入射的情况下光谱分析测试系统-反射率的测量样品楔角对测量结果的影响，锲形的测试样品会影响测量精度。光学薄膜透、反射率的常用测量方法晶体偏光棱镜：产生偏振光；空气中某些成分的吸收带影响：二氧化碳吸收，方法是样品室充氮；一般光谱仪开机后要进行初始化；薄膜透射率和反射率的测量光谱分析测试系统-多次反射法测量反射率照明系统：光束整形与会聚；单色仪：由色散原件、狭缝机构以及色散原件的扫描驱动；光谱分析测试系统-多次反射法测量反射率应用迈克尔逊干涉仪对不同波长的光信号进行频率调制，在频率域内记录干涉强度随光程改变的完全干涉图信号，并对此干涉信号进行傅立叶逆变换，得到被测光光谱；光谱分析测试系统-反射率的困难在反射率测量中，由于反射光路的变换灵敏，对有样品和无样品时，光斑在光电探测器光敏面上的位置往往变动，这导致误差明显增加；晶体偏光棱镜：产生偏振光；不容易找到在很宽波段范围内具有100％反射率性能长期稳定的参考样品；分光光度计中影响测量的因素：具体测量中的一些问题入射光位置偏移带来测量的问题入射光位置偏移带来测量的问题测自然光的倾斜入射透过率，由于入射光偏振态的问题带来测量问题突跳现象突跳现象产生的原因这种现象一般都出现在倾斜入射的情况下偏振的影响偏振光在可见光和近红外光的差异光斑位置的影响光谱透射、反射特性是光学薄膜器件最基本的光学特性，因此光谱仪也是薄膜器件检测中最常用到的检测设备。光谱测试分析时一定要仔细考虑样品的形状、大小、光谱特性等对测试结果的影响。感谢观看