Zr-N低温温度计工作原理：敏感元件为一热敏电阻，具有负的电阻温度系数（与N2气压有关）。低温工作范围2K~300K，敏感元件的材料组成为氮化锆和氧化锆，其中氮化锆为导体，氧化锆为绝缘体，氧化锆在敏感材料中的作用为改变敏感元件的灵敏度。敏感元的电阻温度系数主要通过下面几点来控制：①基体温度②氮/氧的体积比③气体流速。加工图形：其中，蓝颜色的为敏感元件，红颜色的为敏感元件的电接触。基本加工条件：溅射腔体抽真空P=7x10-6Pa外延抛光基体材料外延抛光（R-cut）放置基体材料（500µm）LakeShore（152µm）离magnetron7~10cm净化基体表面Ar离子束基体升温300oC磁控功率150W反应气压0.266Pa反应气体Ar,N2,O2（1.01volO2/N2）Ar气流速33sccm薄膜厚度300nm基本加工工艺：加工步骤甩胶、光刻、显影溅射(300nm)Zr靶体（99.9%，直径100mm），通入Ar,N2,O2Left-off丙酮去胶甩胶、光刻、显影溅射电接触Cr/Ag丙酮去胶切割测试封装①采用什么材料的掩模？